剪切干涉仪精密相移系统的研制

摘要：

设计了一种用于迈克尔逊干涉仪横向剪切相移测量的精密相移系统.该系统采用压电陶瓷驱动器作为驱动元件,通过柔性铰链平移机构推动反射镜实现无摩擦、无间隙微位移.采用电容传感器进行位移反馈测量,利用单片机系统作为中央处理器进行PID闭环控制以实现高精度相移.对相移系统的行程及定位精度进行了测试,当输入阶跃位移信号为80 nm时,相移系统输出位移精度小于3 nm.当相移系统连续位移2 μm,每步位移为80 nm时,其输出位移的定位精度小于5 nm.实验结果表明,相移系统的行程与定位精度满足剪切干涉仪设计要求.

关键词：相移干涉、精密相移系统、压电陶瓷驱动器、柔性铰链、闭环控制

所属期刊栏目：33

分类号：TP96;TN29

在线出版日期：2015-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：57-60