一种精密气控系统的设计与实现

摘要：

介绍了一种精密气控系统的设计与实现方案,该系统通过智能算法将气源控制为恒定压力、流量的输出气体,满足半导体行业需求.首先,采用AMESim提供的元件设计库构建了气体控制回路动态仿真模型,调节回路内关键节点的气体压力和流量特性参数进行时域分析,以验证模型的正确性.其次,通过CompactPCI总线机箱执行实时采集和闭环控制,并利用QWT库实现人机交互图形界面.实验结果表明,该系统具有便携性、可配置性、实时性、高精度等特点,适用于低流量、高稳态氮气供给应用场景.

关键词：气路仿真、压力控制、流量控制、QWT

所属期刊栏目：33

分类号：TP271+.3;TN7(自动化技术及设备)

资助基金：国家重大科技专项02专题2009ZX02205项目

在线出版日期：2014-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24