基于非球面检测的磁力微动间隙控制技术研究

摘要：

在非球面检测中,为了能很好的控制参考波面的变化,需要对参考镜的位置进行微移动,针对此问题,研究了一种磁动式微动间隙调节结构,该结构以3个通电电磁线圈为驱动力,直线导轨为运动平台,通过电磁力驱动使参考镜的位置进行微小的变化,结构简单、方便,可以实现波面的位置控制,通过实验验证了该结构设计的正确性和可行性.

关键词：电磁驱动、微位移、检测

所属期刊栏目：33

分类号：TN202(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-64