QMEMS晶振的MEMS器件真空度测量方法研究

摘要：

QMEMS晶振是一种采用MEMS(micro-electro-mechanical system)加工技术充分发挥石英(Quartz)晶体材质特性制造出的高性能、高集成度的新型石英晶振.利用QMEMS晶振体积小、性能稳定的特点,提出将QMEMS晶振作为传感器内置于MEMS器件管壳内部,对MEMS器件腔体内部真空度进行实时监测的方法.在对石英晶振测量真空原理进行分析的基础上,研究了QMEMS晶振的结构和管壳开口方法,设计了一套基于QMEMS晶振气压传感器的真空度测量系统,实现了对真空度的测量,并对系统进行了标定.试验表明,该真空计可实现1～30 kPa压强范围的测量,测量精度约为5％,能满足MEMS器件实时真空度测量要求.

关键词：QMEMS、石英晶振、真空度测量、谐振阻抗

所属期刊栏目：33

分类号：TN206+.1(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-31