10.3969/j.issn.1002-8978.2012.04.020
TDX-200透射电子显微镜灯丝像的调节
透射电子显微镜(transmission electron microscopy,TEM)在工作状态时要求精确的合轴,电子枪作为TEM电子光学系统主要部件之一,要求电子源必须与镜筒中整个电磁透镜系统严格合轴,否则会造成到达样品的电子束流减少,引入球差等不良影响.在操作中灯丝像的对称性是判断电子枪是否合轴的重要判据.研究了TDX-200透射电子显微镜灯丝像的调节过程,给出了透射电子显微镜灯丝像的具体调节步骤,并通过课题室透射电子显微镜TDX-200进行了实际验证.
透射电子显微镜(TEM)、电子源、照明系统合轴、灯丝像
31
TN1;O43(真空电子技术)
国家科技支撑计划课题2006BAK03A24
2012-07-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
72-75