10.3969/j.issn.1002-8978.2011.07.008
一种新型三自由度微定位新方法
设计了一种基于压电陶瓷的三维微定位系统,通过12个空间分布的压电陶瓷微驱动器及4个工作平台的配合,实现X、Y、Z向的精密位姿控制.阐述了微定位原理、建立了载物台位姿与压电陶瓷微驱动器伸缩量之间的关系,介绍了系统误差来源以及微定位装置的构造.该研究可望为一些高科技领域的微进给提供实用新技术.
压电陶瓷、空间定位、微位移
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TH703(仪器、仪表)
国家自然科学基金69785007
2011-11-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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