MEMS加速度计敏感元件测试仪的设计与实现

摘要：

基于敏感元件的特性本文设计出了一种MEMS加速度计敏感元件特性测试仪,即利用电容检测电路和基于虚拟仪器的频谱测试仪对MEMS敏感元件的频谱特性进行测试而得出其重要性能参数.电容检测电路和虚拟仪器频谱测试仪分别在实验室内进行了误差分析,电容检测电路的最大非线性误差为0.127 7%,频率特性测试仪的幅值最大误差为0.352 6 dB,相位最大误差为1.365 6°.

关键词：MEMS加速度计、敏感元件、虚拟仪器、频谱分析仪

所属期刊栏目：27

分类号：TH824

在线出版日期：2008-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：23-26,41