微电机系统(MEMS)的测试问题
微电机系统(MEMS)是在IC工艺技术基础上发展起来的一项重大科学技术,有着广阔的应用前景,但是它的测试问题从设计开始到批量生产,都面临着巨大的挑战.本文简单地论述了它们面临的测试问题.
微电机系统、单片系统、传感器系统
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TP3(计算技术、计算机技术)
2005-11-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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微电机系统、单片系统、传感器系统
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TP3(计算技术、计算机技术)
2005-11-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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