10.3969/j.issn.1002-8978.2005.01.017
基于MEMS技术的热式质量流量传感器
本文主要介绍了用MEMS技术制造的热式质量流量传感器工作的基本原理,并进行了制造工艺和性能描述以及相关领域的应用.
MEMS、微机电、流量传感器、芯片
24
TP2;TH8
2005-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
49-52
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10.3969/j.issn.1002-8978.2005.01.017
MEMS、微机电、流量传感器、芯片
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TP2;TH8
2005-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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