激光修调产品熔丝设计小结

摘要：

激光修调产品生产工艺在我国刚开始发展应用，许多设计人员对于激光修调产品的设计缺少相关经验。文章采用型号为ESI9XXX激光修调设备，通过改变对修调结果有重大影响的几个参数进行各项试验，总结出适合激光修调设备的金属熔丝参数为产品设计人员提供指引，使设计的产品适合于激光修调设备，可减少新品的调试时间，提高所设计产品的良率，有。利于激光修调工艺在国内能更快的推广和应用。

关键词：熔丝间距、熔丝宽度、熔丝长度、熔丝厚度、氧化层厚度

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2014-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-51,82