CSNS四极陶瓷真空盒镀膜系统的电磁场模拟计算分析

摘要：

针对中国散裂中子源（CSNS）四极陶瓷真空盒磁控溅射镀膜系统，采用 CST 仿真软件，进行了镀膜系统安。置外导电层、内导电层及无导电层三种情况下的电磁场模拟计算及结果对比与分析，并结合实验系统和磁控溅射相关理论进行了讨论，对实验系统镀膜研究提供了理论基础和指导，同时也为如何进行绝缘体长直管道的内壁镀膜提供了一定的思路。

关键词：镀膜、CST、电磁场、模拟计算

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2013-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：52-54,159