钢基体中碳与铁对化学气相沉积TiN动力学的影响

摘要：

研究了在碳含量不同的钢基体上化学气相沉积TiN的沉积速率.研究结果表明,随着钢中碳含量的提高,沉积速率呈线性增长,涂层硬度也随碳含量的增加而提高.基于铁的触媒作用,推导出TiN的沉积速率方程为V=h1+K1×x(C);对于碳含量较高的Cr12MoV钢和碳含量较低的20钢基体,测得TiN沉积表面过程表观活化能分别为165.11kJ/mol和120.38kJ/mol.钢中合金元素对TiN沉积速率的影响可忽略.

关键词：氮化钛、化学气相沉积、涂层

所属期刊栏目：11

分类号：TG135(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：47-51