10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2019.09.008
基于准分子激光微加工光纤F-P腔的压力传感器
为了实现薄膜厚度的精确控制从而提高传感器灵敏度,设计了一种基于准分子激光微加工光纤法布里-珀罗(F-P)腔的压力传感器,该F-P腔传感器是在光纤陶瓷插芯的端面上集成刻蚀的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜而构成.通过准分子激光对PET膜的刻蚀,精确地控制F-P腔的深度与面积.该传感器在0~1070 Pa的范围内表现出3.3 nm/kPa的敏感度.
法布里-珀罗、光纤、光纤传感器
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TP212(自动化技术及设备)
2019-12-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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