基于氧化锆陶瓷的光纤F-P腔压力传感器研究

摘要：

以高温环境压力传感器应用需求为背景,提出了一种基于氧化锆陶瓷的光纤法布里-珀罗(F-P)腔传感器,它以氧化锆套筒、LC陶瓷插芯和标准单模光纤为传感器组件,利用粘结胶对3个组件固定封装,制备膜片式空气隙F-P腔压力传感器.在压力装置中对封装后的传感器进行0.5～4.0 MPa的压力测试,追踪1543.67 nm反射光谱波谷处波长移动,分别绘制出升压和降压过程中的光谱响应曲线,通过线性拟合后,传感器灵敏度可达9.5 nm/MPa,具有较好的线性度.

关键词：光纤法布里-珀罗腔传感器、氧化锆陶瓷、压力测试

所属期刊栏目：43

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：上海市电力公司科技项目520970170006

在线出版日期：2019-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31