基于MT光纤适配器的光垂直耦合器件制备技术研究

摘要：

针对光波导互连背板中的光纤-光波导垂直(90°转向)耦合技术,提出了一种基于MT光纤适配连接器的光垂直耦合器件制备方法.详细阐述了紫外光固化胶在光纤适配连接器上的涂膜方法,通过准分子激光器的阶梯刻蚀法对固化胶薄膜顶部端面进行45°微反射镜制备;分析了所制备样品参数如斜面粗糙度、斜面几何尺寸以及耦合元件垂直耦合性能.

关键词：光波导、紫外光固化胶、光纤适配连接器、涂膜方法、垂直耦合

所属期刊栏目：41

分类号：TN915.62

资助基金：上海市科学技术委员会科研计划项目16511104300

在线出版日期：2017-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41