10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2017.09.011
基于MT光纤适配器的光垂直耦合器件制备技术研究
针对光波导互连背板中的光纤-光波导垂直(90°转向)耦合技术,提出了一种基于MT光纤适配连接器的光垂直耦合器件制备方法.详细阐述了紫外光固化胶在光纤适配连接器上的涂膜方法,通过准分子激光器的阶梯刻蚀法对固化胶薄膜顶部端面进行45°微反射镜制备;分析了所制备样品参数如斜面粗糙度、斜面几何尺寸以及耦合元件垂直耦合性能.
光波导、紫外光固化胶、光纤适配连接器、涂膜方法、垂直耦合
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TN915.62
上海市科学技术委员会科研计划项目16511104300
2017-12-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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