新型微机电系统的光纤传感器设计及应用

摘要：

设计了一种新型的微腔加速度光纤传感器,采用了Si基底上设计一圆柱形MIM波导的结构,通过检测光纤单直波导输出端口处波长的漂移量,实现对加速度的检测.理论计算和仿真结果验证得到:在加速度每增加10g的情况下,输出光谱图约向右漂移3nm,加速度与谐振波长漂移量基本呈线性关系;微纳光纤传感器的灵敏度较高,能够实现较好的加速度传感器.

关键词：微电子机械系统、传感器、MIM波导、微纳光纤

所属期刊栏目：40

分类号：O23(控制论、信息论（数学理论）)

资助基金：国家自然科学基金61379026;陕西省科学技术研究发展计划项目工业攻关2014K05-61;陕西省教育厅2011年科学研究项目计划11JK0915;陕西省高水平大学建设专项资金资助项目物理学2012SXTS05;延安大学大学物理实验精品课程YDJPKC11-21

在线出版日期：2016-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：47-49