10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2016.06.014
新型微机电系统的光纤传感器设计及应用
设计了一种新型的微腔加速度光纤传感器,采用了Si基底上设计一圆柱形MIM波导的结构,通过检测光纤单直波导输出端口处波长的漂移量,实现对加速度的检测.理论计算和仿真结果验证得到:在加速度每增加10g的情况下,输出光谱图约向右漂移3nm,加速度与谐振波长漂移量基本呈线性关系;微纳光纤传感器的灵敏度较高,能够实现较好的加速度传感器.
微电子机械系统、传感器、MIM波导、微纳光纤
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O23(控制论、信息论(数学理论))
国家自然科学基金61379026;陕西省科学技术研究发展计划项目工业攻关2014K05-61;陕西省教育厅2011年科学研究项目计划11JK0915;陕西省高水平大学建设专项资金资助项目物理学2012SXTS05;延安大学大学物理实验精品课程YDJPKC11-21
2016-08-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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