用于塑料光纤通信的空间调制光电探测器

摘要：

基于UMC 0.18 μm 1P6M CMOS工艺流程,设计了一种全差分输出的空间调制光电探测器(SMPD).利用商用器件仿真器ATLAS建立了器件模型,对N-we11宽度和间距进行了优化.基于优化的器件结构,对SMPD的光谱响应、带宽和瞬态特性进行了二维模拟.模拟结果表明,探测器在650nm处的响应度为0.23A/W,当器件有效受光面积为120μm× 120 μm、反偏电压为5V时,-3dB带宽约为942MHz.瞬态响应曲线表明,器件可用于1.25Gb/s数据速率的光探测.

关键词：光电探测器、空间调制、塑料光纤、互补金属-氧化物-半导体

所属期刊栏目：37

分类号：TN364+.2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61036002,61106052;天津市自然科学基金11JCZDJC15100

在线出版日期：2013-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33