基于MEMS扫描微镜的可调光滤波器的研制

摘要：

提出了基于MEMS微镜和透射式衍射光栅的可调光滤波器(TOF)方案,并对TOF进行了详细的设计.其中MEMS微镜采用体硅微加工工艺制作,镜面尺寸达到1.8mm×2.7mm,扭转角度达到±2.1°.测试结果显示,TOF系统的偏振相关损耗为0.34dB,插入损耗为2.6dB.该系统成功地实现了波长调谐的功能,得到相邻通道之间的调谐时间为1.507ms.

关键词：可调光滤波器、MEMS扫描微镜、衍射光栅

所属期刊栏目：37

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2013-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：22-23