一种新型的周期可调谐金属光栅的制备

摘要：

介绍了一种制备金属可调谐光栅的新技术.首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底,并在其上蒸镀金属Cr层及Ag层,然后采取金属举离工艺得到金属光栅.利用PDMS高弹性的特点,通过机械拉伸PDMS纵、横向拉伸程度,对金属光栅周期进行连续调谐,获得预定的目标周期.实验结果表明,金属光栅调谐范围超过其初始周期的100％.

关键词：金属可调谐光栅、紫外光刻、PDMS(聚二甲基硅氧烷、蒸镀、金属举离

所属期刊栏目：35

分类号：TB383(工程材料学)

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：29-31