10.3969/j.issn.1002-5561.2010.01.004
钛扩散LiNbO_3晶体光波导长周期光栅
设计了一种钛扩散铌酸锂(LiNbO_3)晶体光波导结构,并在该基础上制作了长周期光栅.使用两步钛扩散方法在Z切LiNbO_3基片上制造了波导,它包括一个单模芯层和一个平面包层,之后用光刻胶光栅置于波导表面.实验证明用这种结构设计长周期波导光栅是可行的.对光波导制造工艺和波导结构的深入研究,为制作高速电光调制型光栅提供技术基础.
铌酸锂、长周期光栅、光波导、钛扩散
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TN253(光电子技术、激光技术)
2010-04-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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