新型2×2聚合物波导垂直耦合器的研究

摘要：

对2×2聚合物波导垂直耦合器的理论设计和制作过程进行了研究.首先,利用光束传播法(BPM)设计并研究了垂直耦合器的关键参数(交叉角、垂直耦合层厚度)与耦合效率和消光比之间的关系.模拟结果表明,耦合效率最高为93%,消光比最高为29dB.其次,利用标准光刻工艺制作了波导尺寸为4×4 μm,垂直耦合层厚度为2μm,相对交叉角为1.0°的聚合物波导垂直耦合器.实验结果表明,采用聚合物制备波导垂直耦合器,具有工艺简单、灵活的优点.

关键词：光束传播法、聚合物波导、垂直耦合器

所属期刊栏目：31

分类号：TN929.11

资助基金：吉林省科技厅科研项目20060521;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室基金O6133FQ064

在线出版日期：2007-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：45-47