32信道聚合物阵列波导光栅的制作与测试

摘要：

对一个32通道的聚合物阵列波导光栅进行了研究和制作.经过旋涂、光刻、反应离子刻蚀等工艺过程,利用A1掩膜技术和回融技术进行了器件的制作.实验结果表明,回融技术使样本的波导表面的均方根粗糙度降低了约0.02μm.测试结果表明,器件的结构指标与理论设计值基本相符,并且波导在C波段上实现了单模传输.器件的插入损耗约为35dB,相邻通道串扰小于-20dB,很好地实现了波分复用功能.

关键词：阵列波导光栅、聚合物、回融技术

所属期刊栏目：30

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国科学院基金C03Q14Z;吉林省长春市科技发展计划项目05GG13

在线出版日期：2006-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：22-23