10.3969/j.issn.1002-5561.2005.10.001
40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作
报道了40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作.通过光刻、化学腐蚀、电子束蒸发、增强型化学汽相淀积、金属剥离、解理等工艺技术,制作了40Gb/s PIN波导型光探测器管芯.
PIN波导型光探测器、共面波导、光刻
29
TN202(光电子技术、激光技术)
2005-11-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
4-7
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10.3969/j.issn.1002-5561.2005.10.001
PIN波导型光探测器、共面波导、光刻
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TN202(光电子技术、激光技术)
2005-11-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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