一种制作可变光衰减片的新方法

摘要：

介绍了一种制作可变光衰减器用衰减片的新方法,即采用曲线型沉积孔挡板,结合基片旋转,在玻璃基底上获得厚度线性变化的溅射金属膜层,形成可变光衰减器.

关键词：可变光衰减器、金属膜、溅射沉积

所属期刊栏目：29

分类号：TN92

在线出版日期：2005-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：13-14