有机硅介质光波导技术研究

摘要：

针对有机硅树脂的材料特性和制作有机硅光波导器件的方法进行探讨.

关键词：光波导、波导工艺、有机硅

所属期刊栏目：28

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-01-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：31-32