MEMS阵列式推进器及其音频采集系统设计与实现

摘要：

研制了一种基于微机电系统（ MEMS）技术的微型阵列式推进器，并开发了记录其点火过程的音频采集系统。该推进器利用金属溅射、体硅干法刻蚀等工艺制作点火电阻和燃烧室，完成了点火电阻、引线以及焊盘的一体化加工，利用硅-玻璃阳极键合工艺完成燃烧室和点火电阻的封装，并采用硅微麦克风捕获点火过程产生的音频信息。结果表明：MEMS阵列式推进器尺寸为8．8 mm×8．8 mm，采用5 V低电压供电实现推进器点火，功率约为900 mW，由捕获的音频信息可知，点火过程大约持续了40μs。作为皮卫星的有效载荷，满足飞行任务需求。

关键词：皮卫星、有效载荷、音频采集系统、MEMS阵列式推进器

分类号：V439(推进系统（发动机、推进器）)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划;陕西省科技统筹创新工程计划2011KTCQ01-26。

在线出版日期：2014-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：277-280