化学气相沉积/渗透技术综述

摘要：

综述了化学气相沉积(CVD)技术的最新发展,包括金属有机化合物化学气相沉积、等离子辅助化学气相沉积、激光化学气相沉积;同时介绍了三种用于制备工程材料的快速致密化化学气相渗透(CVI)技术,包括强迫流动热梯度化学气相渗透、化学液相沉积、感应加热热梯度快速致密化技术.

关键词：化学汽相淀积、化学气相渗透+、碳碳复合材料、陶瓷基复合材料

分类号：TB33(工程材料学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-58