钝化层质量对高压功率器件可靠性的影响

摘要：

针对钝化层质量对高VDMOS器件可靠性的影响做了研究.通过流片生产中的产品遇到的实际问题,分析了高压VDMOS器件的钝化层可能存在的离子或者受热应力对器件可靠性的不良影响,并在实际工艺和芯片设计上作出了相应的改进,流片验证可靠性得到了有效的改善.

关键词：垂直双扩散金属氧化物场效应管、可靠性、钝化层

所属期刊栏目：29

分类号：TN386.1(半导体技术)

在线出版日期：2009-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：465-468