Pt/Na0.5Bi0.5TiO3/La0.5Sr0.5CoO3电容器的结构和铁电疲劳特性

摘要：

采用偏轴磁控溅射法,以单晶钛酸锶(001)SrTiO3(STO)为衬底,不同沉积温度下外延生长了La0.5Sr0.5CoO3 (LSCO)氧化物底电极.X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)结构表征以及四探针方阻测试结果表明:LSCO薄膜外延(00l)取向最优温度沉积条件为550℃.此外,利用脉冲激光沉积法,以LSCO/STO异质结为模板,构架了Pt/Na0.5Bi0.5TiO3 (NBT)/LSCO/STO铁电电容器.XRD和AFM结构表征表明:NBT薄膜为(00l)外延结构.电流密度-电压测试曲线结果表明,室温变为70℃时,Pt/NBT/LSCO异质结漏电流密度有所增加,但未改变导电机制:低压下为欧姆导电和高压下为陷阱的空间电荷限制电流导电.在5V驱动电压下,室温和70℃时,Pt/NBT/LSCO电容器具有饱和的电滞回线和保持特性,且经过1010翻转后,均未产生疲劳.

关键词：钛酸铋钠薄膜;异质结;铁电存储;疲劳特性

所属期刊栏目：49

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：河北农业大学理工基金;河北农业大学自主培养博士科研启动经费;河北农业大学大学生创新创业训练计划;河北农业大学大学生创新创业训练计划;河北农业大学大学生创新创业训练计划

在线出版日期：2021-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2189-2194