含Ti-Al阻挡层的硅基Na0.5Bi0.5TiO3电容器的结构与电学性能

摘要：

通过射频磁控溅射法和脉冲激光沉积法，以 Ti–Al 为阻挡层，在(001)Si 衬底上制备了 La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)/ Na0.5Bi0.5TiO3(NBT)/LSCO (LSCO/NBT/LSCO)异质结铁电电容器。研究了Na0.5Bi0.5TiO3铁电薄膜的结构和物理性能。结果表明：Ti–Al阻挡层为非晶结构，NBT薄膜结晶质量良好。在1500 kV/cm驱动电场下，LSCO/NBT/LSCO电容器呈现饱和的电滞回线，具有较大的剩余极化强度(47.9μC/cm2)和较小的脉宽依赖性，而且抗疲劳特性和保持特性良好。此外，漏电机制研究表明：当外加电场小于400 kV/cm时，LSCO/NBT/LSCO电容器满足欧姆导电机制，在电场大于400 kV/cm时，满足空间电荷限流传导机制。

关键词：钛酸铋钠薄膜、铁电电容器、剩余极化强度、漏电流

所属期刊栏目：44

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目11374086；河北省自然科学基金项目E2014201188, E2014201063；保定市科技局基金项目15ZG048；河北农业大学ZD201614资助项目。

在线出版日期：2016-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1477-1481