大尺寸四硼酸锂压电晶体转向生长

摘要：

四硼酸锂(Li2B4O7, LBO)晶体是一种性能优异的压电基片材料，坩埚下降法生长的直径为76mm LBO晶体已成功应用于声表面波(SAW)和体波(BW)器件。由于硼酸盐熔体粘度大、晶体易开裂，生长直径为102 mm的LBO晶体产业化还有很大难度。本工作根据坩埚下降法技术特点，提出了转向生长LBO晶体的工艺方案，成功生长出60 mm×110 mm×120 mm板状晶体。晶体沿[001]方向快速生长，侧面主面为(110)。生长的板状晶体经准确定向、加工后即可获得高度60 mm、直径为102mm(4in)的[110]取向LBO晶体，生长速率和晶体产率较传统方法都有显著提高。

关键词：四硼酸锂晶体、坩埚下降法、大尺寸晶体生长、转向晶体生长

所属期刊栏目：44

分类号：O482(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目51472263。

在线出版日期：2016-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1435-1439