热处理对AlN陶瓷的热导率及介电性能的影响

摘要：

采用放电等离子烧结技术制备AlN陶瓷,并利用真空无压烧结方法进行热处理.研究了不同烧结助剂在高温热处理过程中对AlN陶瓷的物相组成、显微结构、导热性能及介电性能的影响.结果表明,AlN陶瓷经过热处理后,AlN晶粒进一步发育长大,尽可能实现面接触,材料中的晶间相分布更加合理.与只引入单一稀土氧化物为烧结助剂的AlN陶瓷相比,引入复合烧结助剂稀土氧化物及氟化钙(CaF2)的AlN陶瓷经过热处理后,在有效除氧及生成具有挥发性晶间相双重效果作用下,材料热导率及介电损耗改善效果明显.

关键词：热处理、氮化铝陶瓷、热导率、介电性能

所属期刊栏目：43

分类号：TQ174.75

资助基金：国家自然科学基金51302053

在线出版日期：2015-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1186-1191