热处理工艺对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al薄膜光电性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出ZnO∶Al(AZO)薄膜.通过X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、方块电阻测试仪、Hall效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计研究了薄膜物相、微观结构、光电性能;分析了不同热处理方式对于薄膜光电性能的影响.结果表明:经10次提拉所制备薄膜可见光透过率85％左右.热处理工艺的选择对于提升AZO薄膜的电学性能至关重要,相比于空气气氛和真空下的热处理,采用具有还原性的5％ H2和95％N2的混合气氛热处理得到了具有最好电学性能的AZO薄膜.在550℃还原气氛下保温60 min得到薄膜方块电阻约为300 Ω/□,电阻率约为3.3×10-3Ω·cm.

关键词：铝掺杂氧化锌薄膜、热处理、光电性能、溶胶-凝胶法

所属期刊栏目：43

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：国家“973”计划2012CB724608

在线出版日期：2015-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：451-457