金刚石覆镍量对固着磨料研磨蓝宝石性能的影响

摘要：

金刚石磨粒表面镀镍可以增强其与树脂的结合力.通过化学镀的方法在金刚石磨粒表面镀覆一层不同包覆率的Ni-P合金层,并制成了固结磨料研磨垫.采用CP-4型CMP抛光和测试系统,分别对蓝宝石进行粗研和精研加工,探索不同覆镍量对固着磨料研磨蓝宝石性能的影响.结果表明:金刚石磨粒表面镀镍可以改变其微观形貌;在实验范围内,随着金刚石包覆率的增加,摩擦因数、材料去除率和表面粗糙度呈现先增大后减小的趋势,其中粗研在包覆率为50％、精研在包覆率30％达到峰值;声发射信号呈现先减小后增大的趋势,其中粗研在包覆率50％、精研在包覆率30％达到谷值;粗研过程对包覆率的要求高于精研过程.

关键词：蓝宝石、镀镍金刚石、固结磨料研磨垫、研磨性能

所属期刊栏目：43

分类号：TG732(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：国家自然科学基金项目51175260和51375237;中央高校基本科研业务专项资金项目NP2012506;江苏高校优势学科建设工程项目

在线出版日期：2015-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：445-450