熔盐电解磁搅拌-真空蒸馏联合法制备多晶硅

摘要：

以高纯二氧化硅为原料,高纯石墨为阳极,磁场中旋转的镁锌合金为阴极,电解制备镁硅锌合金.通过真空蒸馏分离合金得到了纯度较高的多晶硅.采用熔盐电解监控仪和Teslmcter对电流密度、槽电压、反电动势和磁场强度参数进行测量,研究了电磁搅拌在阴极合金反应过程中的作用,电解过程中的反电动势、电流效率及产物硅浓度的变化.结果表明:1 000℃,25mT的磁场强度下,0.56A/cm2电解4 h制得硅含量高达35.7％的Mg-Zn-Si合金.将该合金在1 050℃真空蒸馏3h,最终制得硅纯度达99.98％的多晶硅.

关键词：多晶硅、电解、电磁搅拌、真空蒸馏

所属期刊栏目：39

分类号：TQ171

资助基金：国家自然科学基金50874061

在线出版日期：2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1179-1183