Al-Sc共掺杂ZnO透明导电薄膜的掺杂机制

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备Al-Sc共掺杂ZnO透明导电薄膜,考察了结晶性、晶界状态、紫外-可见光透射光谱及Hall效应,并讨论其掺杂机制,结果表明:Sc单独掺杂时,晶粒尺寸变小,结晶性变差,晶粒表面包裹一层非晶相,透射光谱存在较大的吸收谷,无导电性;Al-Sc共掺杂时,晶粒表面无非晶相,c轴择优取向性和晶界状态变优,透射光谱无大的吸收谷,载流子迁移率比Al掺杂ZnO薄膜增大约1个数量级.

关键词：氧化锌、透明导电氧化物、掺杂机制、溶胶-凝胶、太阳电池

所属期刊栏目：39

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：湖南省科技计划2010FJ3013;湖南省高校创新平台10K007;理工人才引进基金1198005

在线出版日期：2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1112-1117