BCl3-C3H6-H2体系的热力学相图研究

摘要：

利用FaetSage software软件计算了BCl2-C3H6-H2体系的热力学相图,分析了反应气体分压、系统总压以及沉积温度对热力学相图中固相产物种类、分布区域及面积的影响规律与作用机制.结果表明:(1)系统总压是影响相图中固相产物种类、分布区域及其面积的最主要因素.随系统总压升高,固相产物由简到繁,相图内B单质区域的面积增加,B+B4C及B4C+C区域面积减小,B4C区域面积变化不明显,各区域明显右移:相图内气态区域面积增加.(2)反应气体分压影响相图中固相产物的元素含量.随C3H6分压增加,固相产物由B含量高的产物向C含量高的产物转变,即由B单质或B+B4C向B4c+C转变.(3)在800～1200℃,沉积温度对相图中产物种类及分布的作用不明显,沉积过程不受热力学控制.

关键词：三氯化硼-丙烯-氢体系、热力学相图、化学气相沉积、气体分压、系统总压、沉积温度

所属期刊栏目：38

分类号：TB323(工程材料学)

资助基金：长江学者和创新团队发展计划;凝固技术国家重点实验室西北工业大学自主研究课题45-QP-2009

在线出版日期：2010-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：964-968