银含量对射频磁控溅射法制备Ag-TiO_2薄膜能隙和相结构的影响

摘要：

采取射频磁控溅射法在硅和石英衬底上淀积Ag-TiO_2纳米薄膜,利用X射线衍射仪和紫外可见分光计分析薄膜的相结构和光学性能,研究银含量对Ag-TiO_2薄膜相结构和能隙的影响.结果表明:银含量影响Ag-TiO_2薄膜的相结构,薄膜中的银为金属Ag(Ag~0),随着银含量(0~40%,体积分数)的增加,薄膜的能隙先减后增,但是仍然小于纯TiO_2薄膜的能隙,银的添加明显地改善了TiO_2薄膜对可见光的吸收.

关键词：银、二氧化钛薄膜、相结构、能隙、射频磁控溅射

所属期刊栏目：37

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：安徽省高等学校省级自然科研基金KJ2009A006Z,KJ2007B132,2005KJ224;三束材料改性国家重点实验室大连理工大学开放基金mmlab0702;安徽大学"质量工程"建设基金XJ200907;安徽大学优秀博士学位论文培育基金20072006;教育部博士点专项基金20060357003;国家自然科学基金50872001,50642038

在线出版日期：2010-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2130-2134