溶胶-凝胶法制备ZnO:Al薄膜的热分解及晶化过程

摘要：

采用溶胶-凝胶浸渍提拉法在普通玻璃片上制备了ZnO:Al薄膜.通过热重-差示扫描量热曲线分析了前驱体在热处理过程中的物理化学变化,采用X射线衍射分析了薄膜的结晶特性.结果表明:ZnO:Al的结晶过程分2个阶段:在约300℃开始成核和生长,在500℃左右进一步晶化.在413～523℃时,薄膜组成为ZnO:Al与残余碳的混杂物:温度升至500℃时,残余碳大部分完全氧化,ZnO:Al进一步晶化,使薄膜结晶质量变好.薄膜的最佳预热处理温度和后期热处理温度分别为420℃和530℃.通过扫描电镜观察发现:在530℃下后期热处理的薄膜具有致密均匀的微观组织结构,在400℃下真空退火处理后其表面方电阻最小(140Ω/□).所有薄膜在可见光范围内透过率均超过90%.

关键词：氧化锌、铝、溶胶-凝胶、结晶、薄膜、透明导电氧化物

所属期刊栏目：37

分类号：TB34(工程材料学)

在线出版日期：2009-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：208-213