纳米阳极氧化铝模板膜孔可控生长规律

摘要：

采用新的二次阳极氧化工艺,制备了多孔纳米阳极氧化铝(anodized Al2O3,AAO)膜.对铝在草酸溶液中的二次阳极氧化过程进行了研究.利用扫描电镜、原子力显微镜、透射电镜等对其形貌进行了表征和分析.结果表明:用高纯铝所制备的纳米AAO膜孔大小一致,有序性强;膜的孔径随扩孔时间的增加而增大,随草酸浓度的增加而减少.进一步延长扩孔时间至1.5h,其孔径生长规律仍符合AAO膜孔径可控性动力学模型方程,使原模型的扩孔时间范围由1.0h拓展到1.5h.AAO膜的最佳制备工艺为:采用0.3mol/L草酸溶液,电压为40V,在40℃氧化9h和扩孔1 h.在最佳制备工艺条件下,制备的AAO膜厚为112.7 μm,孔径为70nm左右.

关键词：氧化铝膜、模板、可控生长、多孔阳极膜

所属期刊栏目：37

分类号：TQ132.2

资助基金：国家自然科学基金10372087;湖南省科技厅重点03JZY1002

在线出版日期：2009-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：198-202