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10.3321/j.issn:0454-5648.2006.09.023

溶胶-凝胶法制备BaPbO3导电陶瓷膜及其导电性能

引用
以可溶性无机盐为原料,乙二胺四乙酸、柠檬酸和酒石酸为复合螯合剂,水为溶剂,采用溶胶-凝胶技术,在Al2O3衬底上制备了导电性能优良的钙钛矿结构BaPbO3(BPO)导电薄膜.利用X射线衍射和扫描电镜测试分析了热处理工艺对薄膜微结构的影响,用四探针法测定了薄膜方阻.结果表明:升高热处理温度和增加热处理次数的工艺会导致薄膜中Pb/Ba摩尔比降低和膜厚下降,从而使BPO薄膜方阻升高,薄膜导电性能下降.尤其是在膜层较薄的情况下,这种影响更加显著.采用在670℃保温10min的单次热处理方法,获得了方阻为4.65Ω/□的单一钙钛矿结构BPO相导电陶瓷薄膜.

铅酸钡薄膜、导电陶瓷、薄膜方阻、溶胶-凝胶法

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TQ174

广东省自然科学基金033177;华南理工大学校科研和教改项目040140

2006-11-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

1140-1142,1157

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硅酸盐学报

0454-5648

11-2310/TQ

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2006,34(9)

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