Ba(Zr0.3Ti0.7)O3薄膜的结构及性能

摘要：

用溶胶-凝胶法分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了锆钛酸钡[Ba(Zr0.3Ti0.7)O3,BZT]薄膜.相结构及介电性能研究表明:衬底和薄膜厚度对BZT薄膜性能具有显著影响.制备在LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的BZT薄膜具有(100)面的择优取向,其介电常数及介电损耗则随着薄膜厚度的增加而降低.对制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的BZT薄膜,在薄膜厚度低于500nm时,其介电常数随薄膜厚度增加而增加,大于500nm时又有所减小.

关键词：锆钛酸钡薄膜、介电性能、厚度、溶胶-凝胶法

所属期刊栏目：34

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613304;上海市纳米科技与产业发展促进中心基金05nm05028;教育部跨世纪优秀人才培养计划

在线出版日期：2006-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：946-950