浮法玻璃在线镀复合膜的力学性能

摘要：

用化学气相沉积法在浮法玻璃上制备了复合薄膜.用台阶仪、纳米压痕和X射线衍射分别测定了薄膜厚度、弹性模量、纳米硬度和室温时薄膜的残余应力.实验结果表明:薄膜厚度为560.7nm,弹性模量为48.33GPa,纳米硬度值为10.65GPa,计算得到薄膜的残余应力值为-0.19GPa.对膜厚、气体的配比、流量、玻璃板的厚度、玻璃基体的化学成分等因素对薄膜残余应力的影响进行了讨论.

关键词：浮法玻璃、化学气相沉积、复合膜、纳米压痕、残余应力

所属期刊栏目：34

分类号：TQ171.72

资助基金：河北省自然科学基金E2004000241

在线出版日期：2006-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：917-921