溶胶-凝胶法制备ZnO多孔薄膜

摘要：

以聚乙二醇(polyethylene glycol, PEG2000)为模板剂,醋酸锌(Zn(CH3COO)2·2H2O)为前驱体,乙醇为溶剂,二乙醇胺[NH(C2H4OH)2]为络合剂,通过溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ZnO多孔薄膜.利用红外光谱,热重-差热分析及扫描电镜等测试方法对薄膜的结构和特性进行了分析.探讨了样品在溶胶-凝胶及煅烧过程中的物理化学变化.研究了前驱体浓度、PEG2000加入量及不同水浴温度对薄膜结构和性能的影响.结果表明:当m[Zn(CH3COO)2]/m[PEG2000]=9.43∶1(质量比),将溶胶在70 ℃水浴下处理1 h,最终可制得具有一定多孔结构的ZnO薄膜.

关键词：氧化锌、多孔薄膜、溶胶-凝胶、聚乙二醇、水浴温度

所属期刊栏目：33

分类号：TN304.12(半导体技术)

资助基金：天津市应用基础研究项目33802311

在线出版日期：2005-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：693-697