KTa1-xNbxO3三组分复合热释电薄膜的制备与性能研究

摘要：

利用多组分复合宽化铁电相变温区, 使薄膜以高的热释电系数出现在较宽的温度范围.在BaTiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上用溶胶-凝胶法制备了0.5 μm KTa1-x Nb xO3(x=0.45, 0.50, 0.55)三组分等厚度的复合薄膜.0.5 μmKTN-0.08 μmB T薄膜在28～72 ℃温度范围内, 1.0 kHz时, 其εr=1100, tanδ=1.2% .在室温及120 kV/cm下极化30 min后, 0.5 μm复合薄膜在28～72 ℃温度范围内热释电系数出现峰值, 平均热释电系数p=2.7×10-6C/cm2*K, 电压响应优值Fv =8.99×10-10 C*cm/J,探测度优值Fd=27.0×10-8 C *cm/J, 该薄膜工作温度范围很宽, 是一种优异的热释电材料.

关键词：钽铌酸钾、多组分复合薄膜、热释电性能

所属期刊栏目：30

分类号：TB321;TB43(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金59972008

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：482-485