溶胶-凝胶法制备LiNbO3薄膜的研究

摘要：

对近年来有关溶胶-凝胶法制备LiNbO3薄膜的研究进行了较详细的综述, 分析讨论了在溶胶-凝胶法制备LiNbO3薄膜过程中, 各主要因素对LiNbO3薄膜制备的影响, 简要地介绍了LiNbO3薄膜的一些性能. 研究结果表明, 目前可以用溶胶-凝胶法在蓝宝石及LiTaO3等基板(基板的晶格参数与LiNbO3的晶格参数失配较小)上制备出有光学应用的LiNbO3薄膜, 制膜的热处理温度通常在500 ℃左右. 讨论了溶胶-凝胶法制备LiNbO3薄膜过程中存在的主要问题、发展前景及今后的研究方向.

关键词：铌酸锂、薄膜、溶胶-凝胶法

所属期刊栏目：30

分类号：TQ050.4+21(一般性问题)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：230-234