掺铝钛酸锶薄膜及其与CrOx复合膜的制备及氧敏性能的研究

摘要：

以TiCl4,SrCl2.6H2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备出掺Al3+的钛酸锶薄膜,分析了薄膜的表面形貌和晶相组成,并比较了铝含量不同的SrTi1-xAlxO3-δ薄膜的氧敏性能.实验结果表明:掺摩尔分数为0.01的铝的钛酸锶薄膜表现出较高的氧敏性,但是,铝的掺入并没有消除钛酸锶薄膜的半导特性在中性气氛附近从n型向p型转变.在此基础上,又合成了SrTi0.99Al0.01O3-δ-CrOx复合膜氧敏材料,该复合膜在700 ℃下可掩盖SrTi0.99Al0.01O3-δ薄膜的半导特性从n型向p型转变.

关键词：钛酸锶薄膜、氧化铬、复合薄膜、氧敏、掺杂

所属期刊栏目：28

分类号：TB034

资助基金：国家科技攻关项目715-012-0150;ToyotaCo.资助项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：419-421