KTa0.55Nb0.45O3薄膜的介电和铁电及热释电性能研究

摘要：

在BT/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上用溶胶-凝胶法制备了KTa0.55Nb0.45O3(KTN)薄膜.0.5μm KTN-0.08 μm BT薄膜在25 ℃,1.0 kHz时,其εr＝1114,tanδ＝2.5%;12 ℃时,其Pr＝2.1μC/cm2,Ps＝4.2 μC/cm2,Ec＝5.8 kV/cm.0.5 μm厚KTN膜的Curie温度为35 ℃;25 ℃,1.0 kHz时,KTN膜的εr＝1412.估算KTN材料的体积热容Cv＝2.73 J/cm3.K.KTN薄膜在室温及103 kV/cm下极化30 min后,其室温热释电系数p＝5.1×10-7 C/cm2.K,电压响应优值Fv＝1.32×10-10 C.cm/J,探测度优值Fd＝3.15×10-10 C.cm/J,该薄膜是一种优异的热释电材料.

关键词：钽铌酸钾、薄膜、溶胶-凝胶法、制备、热释电性能

所属期刊栏目：27

分类号：TB321;TB43(工程材料学)

资助基金：中国科学院资助项目59302015

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：678-684