TiOx薄膜电阻稳定性及氧敏特性的研究

摘要：

分别采用无机盐的水解-沉淀法和醇盐的溶胶-凝胶法两种工艺在Al2O3基片上制备TiOx(x=1-2.0)薄膜,研究了薄膜结构及氧敏特性. 结果表明:水解-沉淀法的膜层粒子分布均匀,工艺易控制;溶胶-凝胶法的膜层粒子更细微,相变温度较低. 两种工艺制得的超微粒薄膜都具有很好的电阻-温度稳定性. 膜层粒子愈超细化,分布愈均匀,氧敏特性愈高;薄膜厚度与气体检测灵敏度有密切关系,具有最佳膜层厚度值,两种工艺获得的薄膜最佳厚度稍有差异.

关键词：氧化钛系、超微粒薄膜、电阻稳定性、氧敏特性

分类号：TB321(工程材料学)

资助基金：Tianjin Natural Sci. Found973603911

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：726-731