溶胶-凝胶法制备SiO2-TiO2纳米复合薄膜的结构及光学性能研究

摘要：

采用sol-gel工艺制备了(1-x)SiO2-xTiO2(x=5%,8%,20%,30%,40%,50%,摩尔分数)纳米复合薄膜. X射线衍射及折射率测量表明,随着TiO2摩尔分数的增加,薄膜的折射率呈线性增加,而TiO2的析晶温度则降低. 随着薄膜热处理温度的提高,其折射率亦增加,主要来自于薄膜结构转变的贡献,即由非晶态转变为锐钛矿相,由锐钛矿转变为金红石与锐钛矿两相共存,再转变为完全的金红石相结构,并诱导了SiO2的晶化. 掠入射X射线分析则示出,薄膜中晶粒大小分布沿薄膜厚度逐渐减小(由衬底向膜面方向),且随循环热处理温度的提高,晶粒大小分布的差异增大. AFM分析表明,随热处理温度的提高,薄膜表面的粗糙度增大,与掠入射X射线的分析结果相一致.

关键词：溶胶-凝胶法、薄膜、折射率、相结构、晶粒分布

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：西安交通大学校科研和教改项目95-03

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：465-470